儀器設備管理系統將於2022年2月起，更換新網址 https://nfcmachin.ece.nycu.edu.tw
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奈米中心公告
公告日期 公告事項 公告人
2025/4/1 下午 01:51:23R127 Shallow Si RIE RF故障，暫停使用 《內容...》李正維
2025/3/26 下午 12:55:26光罩對準曝光機B恢復使用 《內容...》曾俊賢
2025/3/25 下午 03:29:31:光罩對準曝光機B暫停使用公告 《內容...》曾俊賢
2025/3/25 上午 09:27:34R116PECVD-A恢復使用 《內容...》賴玟言
2025/3/10 下午 02:09:11R116_PECVD_A暫停使用公告 《內容...》賴玟言
2025/3/6 下午 04:35:47黃光區HMDS烤箱(甲)已修復可使用，HMDS烤箱(乙)保養中先暫停使用 《內容...》曾俊賢
2025/3/5 下午 02:52:11SEM SU-8010網路連線已恢復 《內容...》范秀蘭
2025/3/5 上午 07:28:57黃光區R135移機相關公告 《內容...》趙建允
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