儀器設備管理系統將於2022年2月起，更換新網址 https://nfcmachin.ece.nycu.edu.tw
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奈米中心公告
公告日期 公告事項 公告人
2025/5/15 上午 09:24:58Veeco原子層化學氣相沉積系統B腔TiN製程開放使用 《內容...》詹佳期
2025/5/12 下午 07:28:33Veeco原子層化學氣相沉積系統B腔TiN和CF4製程禁RUN 《內容...》詹佳期
2025/5/9 上午 10:49:30SEM SU-8010 Tilt 軸已修復,開放使用 《內容...》范秀蘭
2025/5/9 上午 09:25:48特殊氣體恢復供應 《內容...》李政儒
2025/5/8 上午 09:45:075/14(三)奈米中心地震災害防救掩護避難演練 《內容...》鍾慧穎
2025/5/7 下午 04:19:12特殊氣體暫停供應 《內容...》李政儒
2025/4/28 下午 04:48:49奈米中心黃光區I - line stepper曝光機4/30教育訓練公告 《內容...》曾俊賢
2025/4/25 下午 03:37:19快速退火系統(RTA)SiC載盤表面受汙染，機台暫停使用。 《內容...》倪月珍
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