儀器設備管理系統將於2022年2月起，更換新網址 https://nfcmachin.ece.nycu.edu.tw
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奈米中心公告
公告日期 公告事項 公告人
2026/8/24 下午 03:13:48氧化擴散系統(C濕氧爐管)，恢復正常使用。 《內容...》倪月珍
2026/8/12 上午 10:30:36矽淺蝕刻系統(Shallow Si RIE)開放使用 《內容...》李正維
2026/7/31 下午 02:48:24Thermal Coater自動模式故障改以手動操作模式提供服務 《內容...》鄭鴻麟
2026/7/29 下午 03:07:38i-line步進式曝光機修復完成及恢復正常使用公告 《內容...》曾俊賢
2026/7/28 上午 11:41:56Thermal Coater因加熱器異常, 暫停服務~ 《內容...》鄭鴻麟
2026/7/17 上午 11:02:52SEM SU-8010暫停使用(7/17-7/20) 《內容...》范秀蘭
2026/7/16 上午 08:31:22矽深蝕刻機(Deep RIE)暫停使用 《內容...》李正維
2026/7/14 下午 02:36:22氧化擴散系統( C濕氧爐管) 滑台作動異常，目前暫停開放使用。 《內容...》倪月珍
連絡人:奈米中心   連絡電話:03-5712121分機55615或55604   傳真號碼:03-5724241   [ 連絡信箱 ]   連絡地址:30010新竹市大學路1001號