儀器設備管理系統將於2022年2月起，更換新網址 https://nfcmachin.ece.nycu.edu.tw
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奈米中心公告
公告日期 公告事項 公告人
2024/5/2 下午 02:42:50R137曝光機(A)緊急通知停機 《內容...》趙建允
2024/5/2 下午 01:49:18R137全片塗佈機機構改造 《內容...》趙建允
2024/4/25 下午 03:09:22R116室矽深蝕刻機(Si Deep RIE)暫停使用 《內容...》李正維
2024/4/24 下午 07:35:22Cambridge原子層化學氣相沉積系統B腔Hf製程開放使用 《內容...》詹佳期
2024/4/18 下午 04:50:44Cambridge原子層化學氣相沉積系統B腔Hf製程停止使用 《內容...》詹佳期
2024/4/15 下午 03:19:004/29與4/30黃光曝光機(A)(B)半年度保養公告 《內容...》趙建允
2024/3/14 下午 03:16:44儀器設備管理系統於3/19關閉期間,無法正常運作 《內容...》何惟梅
2024/3/13 下午 09:15:02DEEP-RIE 維修公告 《內容...》胡進章
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