儀器設備管理系統將於2022年2月起，更換新網址 https://nfcmachin.ece.nycu.edu.tw
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奈米中心公告
公告日期 公告事項 公告人
2026/3/31 下午 12:28:32雙面光罩對準曝光機B保養完成及恢復正常使用公告 《內容...》曾俊賢
2026/3/27 下午 04:20:09無塵室各走道暫存物管理 《內容...》李政儒
2026/3/24 下午 01:08:30Picosun原子層化學氣相沉積B腔HfN製程開放使用  《內容...》詹佳期
2026/3/24 下午 12:18:11雙面對準曝光機A保養完成及恢復正常使用公告 《內容...》曾俊賢
2026/3/23 上午 09:50:15 光罩對準曝光機B 3/31(二)半年度保養公告 《內容...》曾俊賢
2026/3/23 上午 09:47:36雙面光罩對準曝光機A機台CDA異常暫時停機公告 《內容...》曾俊賢
2026/3/17 下午 12:25:02Picosun原子層化學氣相沉積B腔更換TDMAH閥件 《內容...》詹佳期
2026/3/16 下午 08:07:20Veeco原子層化學氣相沉積B腔TiN製程開放使用 《內容...》詹佳期
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