儀器設備管理系統將於2022年2月起，更換新網址 https://nfcmachin.ece.nycu.edu.tw
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奈米中心公告
公告日期 公告事項 公告人
2024/11/18 上午 11:23:36Veeco原子層化學氣相沉積B腔TDMAT製程禁止使用 《內容...》詹佳期
2024/11/13 上午 10:34:37R116 RIE-200L RF故障，暫停使用 《內容...》李正維
2024/11/11 上午 11:09:57R116 PECVD-A開放使用 《內容...》賴玟言
2024/11/8 上午 11:09:58特氣恢復正常供應 《內容...》李政儒
2024/11/1 上午 08:41:48特氣暫停使用 《內容...》李政儒
2024/11/1 上午 08:38:32R135區域設備延長暫停使用 《內容...》李政儒
2024/10/30 下午 05:30:43R116 PECVD-A排氣異常暫停使用 《內容...》賴玟言
2024/10/30 下午 03:18:11Picosun和Cambridge原子層化學氣相沉積系統開放使用 《內容...》詹佳期
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