儀器設備管理系統將於2022年2月起，更換新網址 https://nfcmachin.ece.nycu.edu.tw
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奈米中心公告
公告日期 公告事項 公告人
2024/7/22 下午 04:03:43R116 矽深蝕刻機(Si Deep RIE)恢復正常使用 《內容...》李正維
2024/7/17 下午 01:57:12R116室 矽深蝕刻機(Si Deep RIE)暫停使用 《內容...》李正維
2024/7/15 上午 10:57:39Cambridge原子層化學氣相沉積A腔Hf製程禁止使用 《內容...》詹佳期
2024/6/24 上午 08:44:55R121維修廢氣洗滌塔禁止進入 《內容...》李政儒
2024/6/19 上午 08:06:47R121PECVD-A開放使用公告 《內容...》賴玟言
2024/6/17 下午 01:59:06R120破片塗佈機恢復使用公告 《內容...》趙建允
2024/6/17 上午 10:31:14R120破片塗佈機異常通知 《內容...》趙建允
2024/6/16 上午 11:37:33R121PECVD-A暫停使用公告 《內容...》賴玟言
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