儀器設備管理系統將於2022年2月起，更換新網址 https://nfcmachin.ece.nycu.edu.tw
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奈米中心公告
公告日期 公告事項 公告人
2025/12/29 下午 03:50:10E-Gun A & B及Thermal Coater於115年1月12日至14日停電後復機作業公告 《內容...》鄭鴻麟
2025/12/22 下午 04:17:38光罩對準曝光機B恢復正常使用公告 《內容...》曾俊賢
2025/12/22 上午 11:02:03光罩對準曝光機B汞燈異常暫時停機公告 《內容...》曾俊賢
2025/12/9 下午 03:21:57SEM SU-8010已修復,16:00後可正常使用 《內容...》范秀蘭
2025/12/9 上午 09:46:36SEM SU-8010維修通知(12/9) 《內容...》范秀蘭
2025/12/2 下午 02:13:56廢氣處理機已修復，Deep Si RIE矽深蝕刻機恢復正常使用 《內容...》李正維
2025/12/2 上午 10:01:56因廢氣處理機故障，Deep Si RIE矽深蝕刻機暫停使用 《內容...》李正維
2025/11/28 下午 09:37:39三樓黃光區排水異常已修復 《內容...》李政儒
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