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公告日期 公告標題 公告人
2026/3/27 下午 04:20:09無塵室各走道暫存物管理 《內容...》李政儒
2026/3/24 下午 01:08:30Picosun原子層化學氣相沉積B腔HfN製程開放使用  《內容...》詹佳期
2026/3/24 下午 12:18:11雙面對準曝光機A保養完成及恢復正常使用公告 《內容...》曾俊賢
2026/3/23 上午 09:50:15 光罩對準曝光機B 3/31(二)半年度保養公告 《內容...》曾俊賢
2026/3/23 上午 09:47:36雙面光罩對準曝光機A機台CDA異常暫時停機公告 《內容...》曾俊賢
2026/3/17 下午 12:25:02Picosun原子層化學氣相沉積B腔更換TDMAH閥件 《內容...》詹佳期
2026/3/16 下午 08:07:20Veeco原子層化學氣相沉積B腔TiN製程開放使用 《內容...》詹佳期
2026/3/16 上午 11:02:41光罩對準曝光機A 3/24(二)半年度保養公告 《內容...》曾俊賢
2026/3/13 上午 09:25:08氯氣開放使用 《內容...》李政儒
2026/3/12 下午 05:20:33i-line步進式曝光機已修復正常使用公告 《內容...》曾俊賢
2026/3/12 下午 03:18:54Picosun原子層化學氣相沉積B腔HfN製程禁止使用  《內容...》詹佳期
2026/3/12 下午 01:47:57i-line步進式曝光機機台異常暫時停機公告 《內容...》曾俊賢
2026/3/12 上午 10:32:17設備危險性氣體管路拆裝通知 《內容...》李政儒
2026/3/12 上午 10:27:17請於3/20前將R123鐵櫃內物品帶回實驗室 《內容...》鍾慧穎
2026/3/12 上午 10:27:08氯氣暫停使用 《內容...》李政儒
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