| 公告日期 |
公告標題 |
公告人 |
| 2024/11/21 下午 04:25:03 | Veeco原子層化學氣相沉積B腔TDMAT製程開放使用 《內容...》 | 詹佳期 |
| 2024/11/18 上午 11:23:36 | Veeco原子層化學氣相沉積B腔TDMAT製程禁止使用 《內容...》 | 詹佳期 |
| 2024/11/13 上午 10:34:37 | R116 RIE-200L RF故障，暫停使用 《內容...》 | 李正維 |
| 2024/11/11 上午 11:09:57 | R116 PECVD-A開放使用 《內容...》 | 賴玟言 |
| 2024/11/8 上午 11:09:58 | 特氣恢復正常供應 《內容...》 | 李政儒 |
| 2024/11/1 上午 08:41:48 | 特氣暫停使用 《內容...》 | 李政儒 |
| 2024/11/1 上午 08:38:32 | R135區域設備延長暫停使用 《內容...》 | 李政儒 |
| 2024/10/30 下午 05:30:43 | R116 PECVD-A排氣異常暫停使用 《內容...》 | 賴玟言 |
| 2024/10/30 下午 03:18:11 | Picosun和Cambridge原子層化學氣相沉積系統開放使用 《內容...》 | 詹佳期 |
| 2024/10/25 上午 08:40:10 | R135區域所有設備暫停使用 《內容...》 | 李政儒 |
| 2024/10/24 下午 02:52:58 | 114年度固態電子系統大樓停電公告 《內容...》 | 李政儒 |
| 2024/10/24 下午 02:43:43 | Picosun和Cambridge原子層化學氣相沉積系統廢氣處理機異常 《內容...》 | 詹佳期 |
| 2024/10/22 上午 11:59:33 | 氫氣恢復供應 《內容...》 | 李政儒 |
| 2024/10/21 下午 04:41:18 | 氫氣供應異常 《內容...》 | 李政儒 |
| 2024/10/17 下午 04:04:28 | SEM SU-8010 恢復正常使用 《內容...》 | 范秀蘭 |