公告日期 |
公告標題 |
公告人 |
2024/5/14 上午 11:09:26 | R137全片塗佈機停機公告(奈中黃光區) 《內容...》 | 趙建允 |
2024/5/7 下午 04:22:15 | R116 矽深蝕刻機(Si Deep RIE)恢復正常使用 《內容...》 | 李正維 |
2024/5/2 下午 06:46:24 | R137曝光機(A)恢復使用 《內容...》 | 趙建允 |
2024/5/2 下午 02:42:50 | R137曝光機(A)緊急通知停機 《內容...》 | 趙建允 |
2024/5/2 下午 01:49:18 | R137全片塗佈機機構改造 《內容...》 | 趙建允 |
2024/4/25 下午 03:09:22 | R116室矽深蝕刻機(Si Deep RIE)暫停使用 《內容...》 | 李正維 |
2024/4/24 下午 07:35:22 | Cambridge原子層化學氣相沉積系統B腔Hf製程開放使用 《內容...》 | 詹佳期 |
2024/4/18 下午 04:50:44 | Cambridge原子層化學氣相沉積系統B腔Hf製程停止使用 《內容...》 | 詹佳期 |
2024/4/15 下午 03:19:00 | 4/29與4/30黃光曝光機(A)(B)半年度保養公告 《內容...》 | 趙建允 |
2024/3/14 下午 03:16:44 | 儀器設備管理系統於3/19關閉期間,無法正常運作 《內容...》 | 何惟梅 |
2024/3/13 下午 09:15:02 | DEEP-RIE 維修公告 《內容...》 | 胡進章 |
2024/3/6 下午 07:52:12 | Picosun原子層氣相沉積系統B腔TiN製程恢復正常 《內容...》 | 詹佳期 |
2024/3/6 下午 02:21:22 | R121 400iP-1恢復正常使用 《內容...》 | 李正維 |
2024/3/1 下午 03:15:20 | Picosun原子層氣相沉積系統B腔TiN製程異常 《內容...》 | 詹佳期 |
2024/3/1 上午 10:02:21 | 奈中黃光區_藍膜事件 《內容...》 | 趙建允 |