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公告日期 公告標題 公告人
2025/12/9 下午 03:21:57SEM SU-8010已修復,16:00後可正常使用 《內容...》范秀蘭
2025/12/9 上午 09:46:36SEM SU-8010維修通知(12/9) 《內容...》范秀蘭
2025/12/2 下午 02:13:56廢氣處理機已修復,Deep Si RIE矽深蝕刻機恢復正常使用 《內容...》李正維
2025/12/2 上午 10:01:56因廢氣處理機故障,Deep Si RIE矽深蝕刻機暫停使用 《內容...》李正維
2025/11/28 下午 09:37:39三樓黃光區排水異常已修復 《內容...》李政儒
2025/11/28 上午 11:42:52R116 Deep Si RIE矽深蝕刻機恢復正常使用 《內容...》李正維
2025/11/26 下午 04:18:23更正公告-三樓黃光區化學槽體暫停使用 《內容...》李政儒
2025/11/26 下午 04:03:373F化學槽體暫停使用 《內容...》李政儒
2025/11/21 上午 09:56:37R116 Deep Si RIE矽深蝕刻機暫停使用 《內容...》李正維
2025/11/11 下午 04:38:45R129 真空快速升溫退火系統(RTP)教育訓練通知 《內容...》倪月珍
2025/11/10 上午 10:07:56探針式輪廓儀恢復正常使用公告 《內容...》曾俊賢
2025/10/30 下午 03:28:28R120黃光區顯影槽11/4(二) 排水管路改管停機公告 《內容...》曾俊賢
2025/10/28 上午 11:43:07電子槍蒸鍍系統 E-Gun B 異常已排除, 經測試可恢復正常使用 《內容...》鄭鴻麟
2025/10/27 下午 06:59:29電子槍蒸鍍系統 E-Gun B 故障暫停使用 -電源有短路現象- 《內容...》鄭鴻麟
2025/10/21 下午 01:21:55光罩對準曝光機B恢復正常使用公告 《內容...》曾俊賢
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