| 公告日期 |
公告標題 |
公告人 |
| 2026/7/17 上午 11:02:52 | SEM SU-8010暫停使用(7/17-7/20) 《內容...》 | 范秀蘭 |
| 2026/7/16 上午 08:31:22 | 矽深蝕刻機(Deep RIE)暫停使用 《內容...》 | 李正維 |
| 2026/7/14 下午 02:36:22 | 氧化擴散系統( C濕氧爐管) 滑台作動異常，目前暫停開放使用。 《內容...》 | 倪月珍 |
| 2026/7/14 上午 11:52:09 | E-GunB恢復正常使用~ 《內容...》 | 鄭鴻麟 |
| 2026/7/13 下午 12:41:00 | E-GunB設備異常, 預計恢復時間為07/16 17:00, 敬請見諒~ 《內容...》 | 鄭鴻麟 |
| 2026/7/8 上午 10:25:25 | 因 wafer clamp支柱斷裂，R121矽淺蝕刻系統暫停使用 《內容...》 | 李正維 |
| 2026/7/2 上午 10:57:54 | HBr已正常供應，R127矽淺蝕刻系統恢復正常使用 《內容...》 | 李正維 |
| 2026/6/30 上午 11:03:45 | 奈米中心違規懲處條列增修辦法自8/1起實施 《內容...》 | 鍾慧穎 |
| 2026/6/30 上午 10:55:41 | Veeco原子層化學氣相沉積A腔TDMAZ製程禁止使用 《內容...》 | 詹佳期 |
| 2026/6/26 上午 11:44:59 | 特氣恢復供應 《內容...》 | 李政儒 |
| 2026/6/25 上午 10:33:03 | 因HBr無法供應，R127矽淺蝕刻系統暫停使用 《內容...》 | 李正維 |
| 2026/6/25 上午 09:45:28 | 特氣暫停供應 《內容...》 | 李政儒 |
| 2026/6/16 下午 02:31:09 | 115年國立陽明交通大學 奈米中心『學生代表』選舉開始 《內容...》 | 陳思穎 |
| 2026/6/15 下午 04:55:09 | 空調維修 《內容...》 | 溫鋐明 |
| 2026/6/15 下午 04:45:04 | 快速退火系統(RTA)使用收費標準調整 《內容...》 | 倪月珍 |