| 公告日期 |
公告標題 |
公告人 |
| 2026/8/24 下午 03:13:48 | 氧化擴散系統(C濕氧爐管)，恢復正常使用。 《內容...》 | 倪月珍 |
| 2026/8/12 上午 10:30:36 | 矽淺蝕刻系統(Shallow Si RIE)開放使用 《內容...》 | 李正維 |
| 2026/7/31 下午 02:48:24 | Thermal Coater自動模式故障改以手動操作模式提供服務 《內容...》 | 鄭鴻麟 |
| 2026/7/29 下午 03:07:38 | i-line步進式曝光機修復完成及恢復正常使用公告 《內容...》 | 曾俊賢 |
| 2026/7/28 上午 11:41:56 | Thermal Coater因加熱器異常, 暫停服務~ 《內容...》 | 鄭鴻麟 |
| 2026/7/17 上午 11:02:52 | SEM SU-8010暫停使用(7/17-7/20) 《內容...》 | 范秀蘭 |
| 2026/7/16 上午 08:31:22 | 矽深蝕刻機(Deep RIE)暫停使用 《內容...》 | 李正維 |
| 2026/7/14 下午 02:36:22 | 氧化擴散系統( C濕氧爐管) 滑台作動異常，目前暫停開放使用。 《內容...》 | 倪月珍 |
| 2026/7/14 上午 11:52:09 | E-GunB恢復正常使用~ 《內容...》 | 鄭鴻麟 |
| 2026/7/13 下午 12:41:00 | E-GunB設備異常, 預計恢復時間為07/16 17:00, 敬請見諒~ 《內容...》 | 鄭鴻麟 |
| 2026/7/8 上午 10:25:25 | 因 wafer clamp支柱斷裂，R121矽淺蝕刻系統暫停使用 《內容...》 | 李正維 |
| 2026/7/2 上午 10:57:54 | HBr已正常供應，R127矽淺蝕刻系統恢復正常使用 《內容...》 | 李正維 |
| 2026/6/30 上午 11:03:45 | 奈米中心違規懲處條列增修辦法自8/1起實施 《內容...》 | 鍾慧穎 |
| 2026/6/30 上午 10:55:41 | Veeco原子層化學氣相沉積A腔TDMAZ製程禁止使用 《內容...》 | 詹佳期 |
| 2026/6/26 上午 11:44:59 | 特氣恢復供應 《內容...》 | 李政儒 |